放射疗法中使用的是X线，其电离辐射包括韧致辐射，特征X线辐射两个部分，穿过物质时，其减弱服从指数规律，电子线由带电粒子组成，由于电子质量小，接近介质原子的轨道电子时，由于相斥作用而致轨迹高度扭曲，若运动突然减慢，以电磁辐射的方式释放能量，则产生韧致辐射，所以穿透深度浅。据测定，电子线辐射能量在穿透皮肤1cm深度范围内，约衰减20%，但当深度大于1cm后，能量衰减曲线则急剧下降。因此在近距离局部放射治疗中，电子线在产生生物学效应的同时，对深部组织的损伤较小，这也是选择电子线照射的原因。